定義:國內可自行生產之高純度(含)以下純度之氣體皆屬之｡(內容包含普遍純度之O2﹨N2﹨H2﹨C2H2﹨CH4)高純度之N2﹨N﹨H2﹨W2等氣體
大氣系 O2﹨N2﹨Ar﹨H2﹨CO2﹨CO﹨零級AIR 腐蝕系 NH3﹨HCL﹨H2S﹨SO2 氧氮系 NO﹨NO2﹨N2O 鈍氣系 He﹨Ne﹨Kr﹨Xe 有機系 CH4﹨C2H2﹨C2H4﹨C2H6﹨C3H6﹨C3H8﹨C4H8﹨C4H10
高純電子氣體
氣體
分子式
純度(%)
氧氣
O2
99.99%
一氧化碳
CO
2N~4N
氮氣
N2
5N~6N
二氧化碳
CO2
2N~5N
氬氣
Ar
一氧化氮
NO
氫氣
H2
氧化亞氮
N2O
氦氣
He
氯氣
Cl2
氖氣
Ne
二氧化硫
SO2
氪氣
Kr
乙炔
C2H2
氙氣
Xe
甲烷
CH4
3N~5N
